Fundamentals of 上級品 micro fabrication
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Second edition.
MEMS専攻にお薦めです。
日本で売ってないと思います。
大学院で研究するとき、参考のため、友人に頼んでアメリカで買いました。
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カテゴリー本・雑誌・漫画 > 本 > 語学・辞書・学習参考書商品の状態未使用に近い発送元の地域兵庫県